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辽宁干式真空泵

  • 产品名称: 辽宁干式真空泵
  • 产品分类: 干式真空泵
  • 公司名称: 淄博干式真空泵设备有限公司
  • 添加时间: 20/10/19
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   干式真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
    干式真空泵应用范围
      1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;
  4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
  5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
     干式真空泵组装注意事项
   1.在干式真空泵轴即转子轴设备之前,有必要来确定它是否弯曲或者是变形的;
  2.转子平衡状况是不是符合标准的;
  3.叶片和转子之间的合作开放空间;
  4.是否需要多次密封缓冲补偿装置的紧固量;
  5.干式真空泵泵转子与轴承位置的同心度是否满足要求;
  6.调整轴承和端盖之间的开放空间;
  7.调整密封部分的开放空间;
  8.联轴器的同轴度是否符合要求。


点击次数:   更新时间:20/10/19 16:54:10   【打印此页】   【关闭
联系人:田总    
地址:山东省淄博市张店区
淄博干式真空泵设备有限公司

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