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干式真空泵如何进行正确选择

点击次数:   更新时间:21/01/26 14:10:01     来源:www.zbnaihuozcj.com关闭分    享:
  不同类型的干式真空泵,我们一直都在渴望能够减小其物理尺寸。然而,这与真空泵的抽气速度相矛盾,因为真空泵的抽气速率与真空泵的体积成比例。小的物理尺寸意味着音量也很小。
  当然,影响真空泵抽速的另一个重要因素是速度。为了使小型真空泵的抽吸速度与大型真空泵的抽吸速度一致,需要提高速度。而要改变真空泵的转速有两种方法,一种是改变电源的频率,即使用变频器;二是改变变速箱的比例。
  其中,使用变频器的好处是可以提供一个闭环控制,但容易导致重载下的转矩损失。改变齿轮箱的齿轮比是一个非常经济的方法,当然它只能提供单一的速度不能被控制。
  真空泵意外错误会造成机器使用效率降低,影响晶圆的生产和交货,甚***成晶圆废料和其他零件的加工损坏。由于螺杆设计采用单级设计,因此与多级泵(如球缝,爪和组合)相比,所用零件的数量可减少多达60%.这对稳定性和未来的维护成本来说是一个很大的优势。
  总的来说,如果用户认为耗电量对他来说是重要的,那么选择一个内部加压螺钉可能是一个不错的选择,而氮含量对他来说是*不重要的。但总的来说,对尾气处理的要求越来越严格,减少未来使用的氮气量就显得尤为重要。如果您想要处理各种各样的半导体工艺,而不用一种简单的库存控制泵来改变它们,外部压紧螺丝是*好的选择。
  根据情况,结合以上所有设计类型的优势必须是理想的选择,但还不可能。因此,用户需要知道干泵的设计有多种不同的设计类型,然后根据自己的工艺特点来了解不同类型泵设计的影响。这种选择可以使其使用成本*小化,并获得更长的使用寿命和稳定的真空系统。
联系人:田总    
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